烟气补救是加工全过程中有时候被轻视但至关必要的主成这部分，过往上四个明显的意外事故，有發生在如果没有按照碳排放、废气补救机械的公司中。但目前，废气补救仍常被公司认为为成本预算，而不算安会问题。

工厂安装尾气处理设备有三个主要原因：

第一名、是身体健康和的安全，半导体技术、光伏系统和LED等铸造厂多个运行的生产工艺固体是易燃易爆、易爆的如H2或SiH4，和毒害可能浸蚀性的如COF2，HBr，F2等，在孩子与父母或天然的植物接觸先前须得开展补救。第二个、是有很多使用的的其他气体对的环境是安全的，如CF4，其保修期约为 50,000年的暖场，全世界气温升高价值为二防氧化碳的6.500倍。三、，是大批有机废气在暖湿气流中含大批的科粒或积灰。 列如 ，这般积灰大多数情况下在因为硅烷（SiH4）的堆积的过程 中引起，体现的硅烷引起用于危化物的无比细的有害气体的二被氧化硅。 这般积灰有可以搅乱机械设备res排气，引起营造车间出现意外停电。 使有害气体仍未治理 的是粒级大多数情况下为亚μm，如果非常容易确认湿式洗洁器或物理防御过虑器而不困住在洗洁液中。

因此，尾气处理设备是制造设施的重要组成部分。典型的尾气处理设备位于子晶圆厂中，放置在真空泵之后。工艺废气在无尘室机台端(POU)反应被排放出后，即由真空Pump抽至Local Scrubber做处理，避免在冗长的排气过程中引发非预期的气体泄漏，局部聚积或相互反应。

待解决完了的其他气体再接转至厂务端地方解决系统软件做二是道解决，以减掉厂务端严重有害物质解决上的供电量，符合对半导体器件业气流严重感染管理及尾气排放标淮的标淮。

中的几点情况即是观于半导体芯片、太阳能光伏和LED等厂里组装使用排放外理环保环保机器设备的主要情况了，排放外理环保环保机器设备的组装使用，不会都在气体冶理或者是的产量可靠等几个方面，都在的产量创造中的必备品环保环保机器设备。感谢领导您的浏览！