半导体材料芯片制造中硅烷（SiH4）也是种独特的混合气体，在半导体材料芯片加工过程中主耍施用于生产高纯多晶硅、借助CVD（化学物质液相沉淀）加工过程生产二氧化物硅复合膜、氮化硅复合膜、多晶硅分隔层、多晶硅欧姆接触的面积层和异质等。SiH4在施用前会呈现的尾气，如何未经授权尾气加工系统防治就随时高氧浓度进行排放标准，对躯干和生态的一些恶劣不良影响是没办法估量的。

硅烷有所作为的一种打造硅类物质的气休源，影响性和爆燃性很强，有极为宽的自行暴炸空间和很强的熔化势能，毒副作用太大，若果躯干误吸单硅烷就要很强畅快口呼吸器脏，是的一种高危险区性的气休。

在半导体材料公司中，因业务部分一般来说离中心的有机工业的废气补救系統远，要避开在繁琐的排气阀门环节中带来非估计的固体泄密，局布聚积等间题，硅烷（SiH4）有机工业的废气从无尘车间室机台端(POU)反映被排放标准出后，即先由正空Pump抽至有机工业的废气补救机械Local Scrubber做补救，待补救以后的固体再续接至厂务端做2道处里。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以物理吸附桶是补救机器设备氮氧化合物2. 并没有用火、没有灰尘室内不引起火灾3. 节约开支电力能源、没能高能耗等级的需要量4. 不必须 所耗水成本，也没有废渣补救的问题5. 以保证汽车尾气外理的安全保障性外理阶段中没了有害6. 得当加工废料回收，不干扰太阳系场景

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的尾气加工处理机器设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。