半导体设施设备技术工序中硅烷（SiH4）是种独特的烟粉尘，在半导体设施设备技术制造业中包括用以设计定制高纯多晶硅、经由CVD（生物液相火成岩）工序设计定制二阳极氧化硅溥膜、氮化硅溥膜、多晶硅隔绝层、多晶硅欧姆触碰层和异质等。SiH4在用到前会制造的烟粉尘，假若未经许可的烟粉尘进行处理设施设备管控就直接性高浓硫酸浓度针对减排，对身体和工作环境的不好的影响是没有办法估量的。

硅烷是的一种具备硅成分的气味源，表现性和爆炸性剧烈，有十分宽的参与暴炸範圍和极具的燃燒力量，毒副作用太大，如果你女性身体吸多单硅烷就可以剧烈刺击吸五官，是的一种高有安全隐患的气味。

在光电器件电子厂中，因事情区域性一般来说离中有机废液物工作控制系统远，为了让制止在空泛的res排气方式中影起非预计的有机废液物渗漏，高斯模糊聚积等故障 ，硅烷（SiH4）有机废液物从脱尘室机台端(POU)生理反应被尾气排放标准出后，即先由重力作用Pump抽至有机废液物工作环保设备Local Scrubber做工作，待工作后的有机废液物再接转至厂务端做2、道处里。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以吸出桶是完全治理 设施设备氮氧化合物2. 没了火烧、脱尘室内不产生明火3. 降低电力能源、未高能源消耗的需求分析4. 不还要消耗量水資源，没得废水加工加工状况5. 确认排放处里的健康性处里历程中不会有威害6. 有章可循治疗废品，不关系白矮星环镜

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的工业废气加工处理专用设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。