光电器件的工艺中硅烷（SiH4）是一种种重型印刷废气减排，在光电器件轻工业中一般实用在开发高纯多晶硅、在CVD（化学物质气相色谱仪岩浆岩）的工艺开发二被氧化硅贴膜、氮化硅贴膜、多晶硅底部隔离层、多晶硅欧姆了解层和异质等。SiH4在实用后期会形成的印刷废气减排，如果你尚未印刷废气减排整冶仪器整冶就立即高质量浓度地方政府减排，对我们身体和的环境的非常恶劣反应是是无法估量的。

硅烷做的一种提拱硅多组分的废气源，反应迟钝性和爆燃性激动，有极为宽的组织化上火范畴和强得的焚烧力量，致毒挺大，如果人体肌肉吸取到单硅烷便会激动畅快吸气心脏，是的一种高危害性性的废气。

在光电器件厂中，因工作中部分通常情况离中间的烟气排放量清理设计远，因为逃避在繁杂的改装排气管操作过程中导至非预测的汽体泄密，产品局部聚积等情况，硅烷（SiH4）的烟气排放量从无尘车间室机台端(POU)想法被排放量出后，即先由负压Pump抽至的烟气排放量清理产品Local Scrubber做清理，待清理后的汽体再转续至厂务端做2.道加工。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以活性炭吸附桶基本加工处理生产设备废气2. 不存在动火、无尘灰室内不发生明火3. 节约使用清洁能源、不高能源消耗的具体需求4. 不还要损耗量水自然资源，如果没有废水解决方法解决故障 5. 保证空气治疗的安全保障性治疗全过程中没了危及6. 及时处置废塑料，不应响白矮星环保

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的有机废气物解决生产设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。