半导制造中硅烷（SiH4）就是种特类空气，在半导工农业中最主要应用于生产而成高纯多晶硅、依据CVD（有机化学气相色谱仪的堆积）生产工艺生产而成二硫化硅溥膜、氮化硅溥膜、多晶硅防护隔离层、多晶硅欧姆遇到层和异质等。SiH4在动用后能生产的有机废水管控，这样擅自有机废水管控清理装备管控就立即高含量进行污染物，对机体和情况的不利损害是始终无法 估量的。

硅烷有所作为一种生活出示硅酚类化合物的的气态源，想法性和大火性有力，有特别宽的自行大火使用范围和与生俱来的燃烧物热量，渗透性很大的，这样体内误吸单硅烷才会有力有趣呼气器宫，有的是种生活高有风险性性的的气态。

在半导公司中，因操作板块似的离中心局烟气工作装置远，为避免出现在空泛的泄压阀历程中造成非预测的气休漏洞，局部位聚积等相关问题，硅烷（SiH4）烟气从洁净室机台端(POU)反响被减排出后，即先由高压气Pump抽至烟气工作主设备Local Scrubber做工作，待工作后过的气休再延续至厂务端做第一道代理。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以树脂吸附桶基本加工机械废气排放2. 无到火、无尘车间室内不有火灾3. 节俭燃料、没能高能耗的具体需求4. 不必须要消耗量水影视资源，还没有焦化废水加工大问题5. 提高认识汽车尾气补救的安全可靠性补救过程中中不存在不良影响6. 妥当治理 废塑料，不危害白矮星区域环境

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的烟粉尘治理 仪器Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。