半导体行业器件生产工艺仪器中硅烷（SiH4）就是种特种车空气，在半导体行业器件工业生产中最主要于加工高纯多晶硅、完成CVD（生物学气相色谱仪形成）工艺仪器加工二氧化反应硅溥膜、氮化硅溥膜、多晶硅防晒隔离霜层、多晶硅欧姆用到层和异质等。SiH4在用到后期会发生的有机气体物，但如果不经有机气体物整理仪器防治就一直高含量对外开放尾气排放，对人身体和场景的极端恶劣导致是未能估量的。

硅烷用作这种作为硅多组分的气味源，作用性和问题性激动，有极其宽的组织化火灾范围内和极具的进行燃烧体力，毒副作用过大，若是 人體吸到单硅烷会激动激发喘气感觉器官，是这种高的风险性的气味。

在半导体芯片厂中，因的工作地域基本离核心有机有机尾气治理净化操作设计远，关键在于不要在沉长的排气口过程中中导至非预期的的汽体液化气泄漏，整体聚积等现象，硅烷（SiH4）有机有机尾气治理从无尘灰室机台端(POU)反馈被尾气排放出后，即先由真空度Pump抽至有机有机尾气治理净化操作机器Local Scrubber做净化操作，待净化操作时候的汽体再延续至厂务端做第十二道处治。

吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？

1. 以吸附性桶已经处置专用设备排放2. 没能可燃物、无尘车间室内不引发阴燃3. 合理安排再生能源、还没有高能源消耗的所需4. 不要损耗水源的，如果没有污废水 净化处理间题5. 确认排放加工处理的安会性加工处理操作过程中未的危害6. 妥当清理废弃物，不干扰白矮星室内环境

综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的烟粉尘外理装备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。