半导体器件材料的工艺中硅烷（SiH4）一种特种的工艺气休，在半导体器件材料工業中通常适用自制高纯多晶硅、借助CVD（生物学气相色谱的堆积）的工艺自制二氧化物硅bopp塑料膜、氮化硅bopp塑料膜、多晶硅丢开层、多晶硅欧姆接受层和异质等。SiH4在操作之后可能会引起的尾气，比如还未尾气处理系统生态的环境治理就直接性高盐浓度多对外谎称排放出，对人和的环境的不好关系是無法估量的。
硅烷作为一个属于给出硅成分的空气源，反应迟钝性和苹果手机爆炸性猛烈，有至关宽的组织失火使用范围和极高的燃燒能量转换，渗透性太大，这样人休吸进单硅烷便会猛烈刺激到呼气内脏器官，是属于高具有很大的风险性的空气。
在光电器件电子厂中，因工作上地方基本离公司进行排放物治理 系統远，为规避在烦杂的排气管阶段中吸引非预期的的气味外泄，小面积的聚积等毛病，硅烷（SiH4）进行排放物从无尘灰室机台端(POU)发应被进行排放出后，即先由负压Pump抽至进行排放物治理 机器Local Scrubber做治理 ，待治理 后的气味再续接至厂务端做第一道应急处置。
吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？
1. 以活性炭吸附桶全部净化处理的设备氮氧化合物2. 没得用火、无尘车间室内不发生火源计划3. 节省成本再生能源、没能高能耗等级的供需4. 不需求损耗水网络资源，无废水办理方法办理的问题5. 为了保证废气排放治理的的安全性能治理的过程 中不会的危害6. 及时清理废品，不应响世界生态
综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的废水治理 仪器Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。
