半导生产技艺中硅烷（SiH4）是种防化甲烷气体，在半导轻工业中最主要的中用制做高纯多晶硅、完成CVD（化学式液相堆积）技艺制做二腐蚀硅聚酯pe膜、氮化硅聚酯pe膜、多晶硅隔开层、多晶硅欧姆触碰层和异质等。SiH4在利用回会引起的的尾气，如果不予的尾气进行处理设施设备处理就随时高盐浓度对外开放排放出，对人和的环境的一些恶劣应响是未能估量的。
硅烷有所作为一项提拱硅成分的实验室汽体源，作用性和自燃性敏感，有很宽的组织化自燃范围内和与生俱来的烧燃动能，致癌性一定，若果人的身体吸取到单硅烷就能敏感兴奋深呼吸器脏，是一个项高危害性性的实验室汽体。
在半导体技术制造厂中，因上班部位通常情况下离中间烟粉尘加工系統远，只为预防在繁杂的排气阀门过程中中可能会导致非实际的有毒废气泄露，产品局部聚积等难题，硅烷（SiH4）烟粉尘从没有灰尘室机台端(POU)现象被排放物出后，即先由真空箱Pump抽至烟粉尘加工装置Local Scrubber做加工，待加工前一天的有毒废气再转续至厂务端做第一道预防。
吸附式废气处理设备Local Scrubber处理尾气废气的特点？
1. 以吸附性桶根本正确处理机器汽车尾气2. 没能无明火、洁净室内不造成火源计划3. 节省成本能源技术、没能高耗用的具体需求4. 不是需要损耗量水产品，不会化工废水整理现象5. 狠抓烟气加工操作的安全性加工操作工作中也没有为害6. 得当进行处理下脚料，不导致地球表面情况
综上，诸如硅烷（SiH4）此类危险性废气如若未及时处理，倘若其一旦有故障进而发生泄漏的问题，很可能会导致各种危害如火灾爆炸、人员中毒、环境破坏等伤害，严重时更可能造成人员伤亡或生产中断等巨大损失。同时，随着半导体工艺分工越发细微，应根据不同工艺衍生出来的气体特性，选择搭配合适的废液除理环保设备Local Scrubber，才能更有效的解决废气问题。
