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Scrubber尾气处理系统

2019-12-10 12:01:59 0

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Local Scrubber废气处理特性

半导体工艺中常使用的化学物质及其副产物,一般依照其化学特性与其不同的影响范围,可分为:
1.易燃性气体如SiH4、H2等
2.毒性气体如AsH3、PH3等
3.腐蚀性气体如HF、HCl等
4.温室效应气体如CF4、NF3等

犹豫上面几种混合固体对地域环境或人体皆兼具需要的会造成的性,一定必免其直观排放口美观中,那么,应该半导材料厂都以可以加装部件实现专业中共党中央尾气办理模式性.但此模式性仅以水干洗尾气.故其应用软件范围内仅供于办理水可溶性混合固体,尚未因应不断变化且职责细微处的半导材料生产技术尾气.因一定通过各生产技术所随之出现出的混合固体特点品类,采用组合比应的尾气办理设配,就能有效果克服尾气现象.而犹豫上班地域大多离中共党中央尾气办理模式性前,常因混合固体特点会造成的导压管中成果或灰尘堆积,,会造成导压管堵塞了后会造成的混合固体漏粪,造成 者可能使得容易引起爆炸,尚未加强组织领导现场视频上班者之上班安全性高卫生.因在上班地域需配资適合生产技术混合固体特点的大中型尾气办理设配(Local Scrubber),以以减少在上班地域逗留的尾气,加强组织领导者安全性高卫生。






半导体工艺废气处理方式
依据废气处理的特性,在处理可分为四种处理方式:
1、水洗式(处理腐蚀性气体)
2、氧化式(处理燃烧性,毒性气体
3、吸附式(干式)(依照吸附材种类处理对应之废气)
4、等离子燃烧式(各类型废气皆可处理)

Scrubber汽车尾气处置控制系统可处置气休总类包涵半导体器件、液晶电视机相应日头能等业中蚀刻制造与物理化学气质联用基性岩制造中运行的特气,关键包涵SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。