不管是办法國家全面放开生育的新相关政策出台策，还有集成ic产业的全球情势，都应该以确定半导体主设备集成ic产业要加大力度发展进步的潮流，工作中汽车汽车尾气废气排放的处置的现象亟须突显，本质工艺流程中汽车汽车尾气处置主设备local scrubber的应用也将成了的一种比较常见的的现象。

进来进行正确整理有机尾气物氮氧化合物无油火，无尘灰室中不行成阴燃的吸咐剂式氮氧化合物进行正确整理设备，是半导体芯片生产工艺流程本质工艺流程中氮氧化合物进行正确整理的较为常用设备，能够 吸咐剂材吸咐剂管理有机尾气物中需进行正确整理的气休部份，再能够 变暗球上的技巧剂来查验有机尾气物的摆放是否需要合格率。

变色球指示剂的检验原理：

的指示剂是凭借的的载体（活性氧腐蚀铝）的吸附剂力量将变白中和剂粘附在的的载体的界面，故变白球的色彩也就会伴随着氢键之浓度值曾加度的有所不同引起色彩的波动。当生产工艺气休未破出前，采用的气休是碱性气休就并不用具有刺激性氢键，以至于防止褪色球的红的本色就并不用变现；生产工艺气休破出后，采用的气休具有刺激性H而引发红的本色变现（PFCs是碱性气休就并不用转换防止褪色球的红的本色，以至于PFCs气休的破出不可以防止褪色球来分辩）。

上图便是变色球指示剂在不同浓度下的颜色变化，可以通过变色球的颜色来检验废气处理效果和判断吸附材是否还有效，从而保证尾气处理设备local scrubber的吸附效率和效果，实现特气废气的治理，避免环境遭受污染。

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