WOFLY全自动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备，通过SEMI S2认证，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时），主要用于安全稳定输送特种气体。

现在我们来认识一下杏彩体育网 WOFLY特气柜上的一些主要组成部分：

1. 气动式机系统阀氧安全阀：一般来说以GN2来运行抑制，不提议运行CDA（clean dry air），因GN2的供给机系统更加不稳定性，不是因为限电或运行的装置故障问题而断开，此氧安全阀是适用于会系统自动或半会系统自动的气动式机系统阀件电开关。

2. 自功管理阀：最主要使用于第五道耐火板为第五次根本或维护用，通常情况下于提供有机废气气体的出口值端。

3. 逆止阀(单通道阀)：放到特气倒灌到净化用的PN2（高纯氮）体系和抽气用的GN2（普氮）体系。

4. 调压阀：主要用于调节销售平台的销售经济压力。

5. 压力差感应器器：是安全防护网系统性中十分的最重要的铸件，透射它大家就可以答案内部管道是不是有漏洞，一些阀件是不是有常规按钮，时其情检知设备的其他量。

6. 真空箱生产器：灵活运用GN2更快的出入生产风量，将压缩空气管中的乙炔气腾出，以发往抽气的效果。　

7. 气休滤水器：基本上在气瓶进出口端会装相比粗的滤水器，在出端会装相比细的滤水器，高效滤水气休中的颗粒剂，滤水器较不会轻易吹扫,于是基本上不改进措施装在常吹扫的压缩空气管道中。

8. 过数据的流量侦测器：对管道出错数据的流量使用侦测，如果是超没置值，即分辩管道上或者过多渗漏，从根本上关提供模式退出集中供热。

9. 限流孔：都是种间单又有用的过手机流量控住安全装置，加以控制过量排放物流经，一样用到于进口处，其首要效果是尽量避免过量的特色排放物排掉，部位性的排放物处置机不了处置的状况發生。

以上，就是关于超高纯电子特气系统中杏彩体育网 WOFLY特气柜的主要组成部分的介绍了，感谢您的阅读，杏彩体育网 科技， 专业从事气体系统工程！