WOFLY全自动特气柜（GC）是专为易燃易爆、腐蚀性、毒性等危险性特种气体供应而设计的特气设备，通过SEMI S2认证，基本功能包括自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断（当设定报警信号被触发时），主要用于安全稳定输送特种气体。

现在我们来认识一下杏彩体育网 WOFLY特气柜上的一些主要组成部分：

1. 手动阀气动式阀门：般以GN2来开展操作，不最好选用CDA（clean dry air），因GN2的提供装置特别稳定可靠，不由于停工或使用机器设备故障问题而超时，此气动式阀门是采用自动式化或自动式式化的手动阀件触点开关。

2. 人工把握阀：重点应用于第五道安全防护用作第五次核定或抢修用，通常情况于供应信息汽体的口端。

3. 逆止阀(正向阀)：以防止特气倒灌到干净的用的PN2（高纯氮）整体和抽气用的GN2（普氮）整体。

4. 调压阀：适用于調整批售软件的批售有压力。

5. 阻力传探测器器：是预防平台中极为比较重要的零件加工，穿过它我国需要如何判断压缩空气管会不用户名，有关的阀件会不常规开关按钮，一同还可检知液化气钢瓶的其他量。

6. 真空系统诞生器：合理利用GN2最快变化诞生风量，将管道中的有机废气气体放出，以触达抽气的必要性。　

7. 实验室气味进行滤出系统清洁器：通常情况下在设备出入口端会装更加粗的进行滤出系统清洁器，在出端会装更加细的进行滤出系统清洁器，有效地进行滤出系统清洁实验室气味中的颗粒肥料，进行滤出系统清洁器较不可吹扫,全部通常情况下不意见和建议装在常吹扫的聚氨酯保温管中。

8. 过用户侦测器：对管线错误用户做出侦测，如若高出设置值，即决定管线上几率过量液化气泄漏，接着封生产控制系统停掉供汽。

9. 限流孔：有的是种简单的又有效果的过水流量抑制系统，用于控制许多空气流淌，普通用于产品出口处，其首要做用是预防许多的异常空气排放到，范围性的废气排放清理机无非清理的问题发生。

以上，就是关于超高纯电子特气系统中杏彩体育网 WOFLY特气柜的主要组成部分的介绍了，感谢您的阅读，杏彩体育网 科技， 专业从事气体系统工程！