在半导体技术设备制造加工工艺中，本质一种单晶硅体植物的生长技术设备的CVD。其的方式是运用特气整体中特气排水管和电子为了满足电子时代发展的需求，特气柜等特气设备，将含硅的特中气休（SiH4 或SiCI4或SiH2CI2等）平安稳定可靠的运寄回较高温度(> 1100℃)的衬底上运用氢（H2）在衬底上利用抹除反馈沉淀单晶硅体硅的的方式。

外延工艺的优点：

①　少电容并联电阻器；②　就可以抑制外延性层中的杂物布局；③　不错用随便浓度值和导电型的硅衬底上应为人为的诬陷地实现参杂，以提供集成电路芯片繁多新体验繁多的请求。

外延设备及所用的气体:

生物色谱本质种植在使用的机器装置设备通畅叫做本质种植想法炉。通常基本由色谱把控好系統、電子把控好系統、想法炉主体性、泄压阀系統四这部分主成。

在半导体外延工艺中，气体控制系统指的就是超高纯电子特气系统，以下简称特气系统。特气系统以耐腐蚀的EP管、气体泄漏监测报警系统、高精度的质量流量计以及特气设备如拥有SEMI S2认证和自动吹扫、自动切换以及紧急情况下的自动安全切断等功能的电子特气柜，来保证外延生长工艺中特种气体的安全稳定输送。

由此可见所诉，特气设备中微电子特气柜为半导体芯片概念生长期生孩子工艺作为平安维持的实验室气体原料料（如硅烷和二氯二氢硅等），绝对生孩子的平安各类生孩子率和良品率。最好，多谢您的阅览！