在半导的技术融合电路系统中最外部经济组成的是由PN组成的成的，PN结的单通道导电性，是目前自动化设备的技术中不少元件所根据的性能特点，譬如半导的技术稳压管。这么，在PN结制作业中自动化设备特气柜发挥作用着有怎样的益处呢？混着来熟知吧！

PN结介绍：

P型半导（P指positive，带正电的）：由单晶体硅硅能够 特俗生产技术添加一定量的三价设计成分部分，会在半导内层建成带正电的空穴；N型半导（N指negtive，带负电的）：由单晶体硅硅能够 特俗生产技术添加一定量的五价设计成分部分，会在半导内层建成带负电的放任电子元器件。PN结：是用多种的夹杂着工艺设备，能够 发展目的，将P型光电器件行业芯片与N型光电器件行业芯片制成在同种块光电器件行业芯片（大多数是硅或锗）基片上，在植物的根的交汇处面就建立的区域空间电荷量区。

离子注入气体介绍：

在PN结研制中，把营养设计元素掺进多晶硅硅中的技巧有：合金钢法、散出法、阳铝阳离子进入法和外加生张法等，在这其中注意研制技巧是阳铝阳离子进入的工艺，将含营养设计元素阳铝阳离子混合有害气体看作夹杂混合有害气体进入到晶圆的表面。P型半导体器件技术常见阴阳亚铁离子赋予事物为硼(B) 和铟(In) ，气休常见为三氟化硼(BF3) 、乙硼烷(B2H6) 、电镀锌锢(InP) 的；N型半导体器件技术常见阴阳亚铁离子赋予事物为砷(As) ，磷(P) 的，气休常见为砷化氢(AsH3) 和电镀锌氳(PH3)的。

电子特气柜用处：

这个铝离子装入汽体多数是全都是独特的汽体，具备极强的致癌性，诸如AsH3等汽体，故此在汽体传输和从而造成、应用的过程中具备务必的危机性，若是从而造成渗漏等人身安全事故，将的人员人身安全和生产制造从而造成大程度的导致。

为了减少、甚至杜绝危险事故的发生，在半导体集成电路制造是，会使用SEMI S2认证的多功能电子特气柜、气体分配箱VMB、气体泄漏监测报警系统等特气设备，来对这些特种气体进行控制，保证这些离子注入气体的气体纯度、压力稳定供应和生产使用安全，避免生产事故的发生。

上述情况，光电子特气箱内部PLC程式设计的防护集中控制效果、高纯阀件的正确抉择和选址等，就能够需要满足PN结制作时化合物汽体（BF3、B2H6、AsH3等）作为一个夹杂汽体的防护比较稳定选用的要求。最终，感谢信您的阅读赏析！