在半导体装备集成块制造服务行业中，集成块的研发要过程一千道生产工艺，会实用到非常多的特类工艺作业气态。而特类工艺作业气态太多易燃物易爆、高毒性、锈蚀性的气态，为了能防护输送机和实用一些不安全性气态，半导体装备集成块厂中会装置网上特的气体系，搭配网上特气柜GC、气态计算箱VMB和特气遗漏监测系统报警声音器等特类工艺作业装备。
因特殊工种作业气物的特俗性，安装特殊工种作业气物的气瓶移门衣柜须为防燃移门衣柜，并且为衡量半导体芯片设备加工加工中特殊工种作业气物的动态平衡供汽和安会保障管理防护，应享有多类功能键，如柜中气物氯气泄露侦测报警器、PLC面版设定、全半自动吹扫等，提高了使用的安会保障管理防护标准值，有效率的呵护制作安会保障管理防护和人工的灵魂安会保障管理防护。第二步，半导体芯片设备制造行业配备光电特气柜必须有SEMI S2身份验证。
SEMI S2的对象是针对半导体制程设备的，是关于环境、健康、安全方面的标准，也即为EHS标准，因为半导体行业涉及到很多特种气体、化学品及电气、游离及非游离的辐射，如果处理不好，下游用户在使用的时候就很容易导致事故甚至灾难，因此对设备厂商的设备产品如电子特气柜，拥有SEMI S2认证就显得极端重要。
由综上所述阐述确知，在半导制造技术中，必须要 “安全保障”和“平稳”的适用特殊混合气体，正规的气瓶柜不管是在不锈钢材质上会是功能性上会無法规定要求规定要求，所以说半导服务业应搭配有SEMI S2审核的网上特气柜。末尾，感激您的课外阅读！
