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坤化氢AsH₃废气处理——半导体制程尾气处理设备

2020-12-08 10:59:22    责任编辑: 尾气处理设备制造厂商     0

随着时间的推移工艺技木迅速变革,让 有关的供应信息机系统平衡等级及产品渐趋精密五金且繁杂,其排放口物方面也非常突出,如毒素乙炔气、化学的物质非处方药等主产生的排放口物,大便会造成区域严重破坏的特征之六,于是,如何才能办理此项高纯净度且广泛的毒素的物质之排放口,是排放办理机 和排放口物管理的非常重要工作中与人物。

尾气处理设备

坤化氢AsH₃,也称砷烷,是一种无色剧毒气体,常用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。 


坤化氢对人體的不良影响性:

砷化氢是热烈的溶血里毒素,砷化氢慢性慢性中毒了阶段与误吸砷化氢的有机废气浓度重视一些,电视剧危险期愈短则临床研究体现愈较为严重的。轻微慢性慢性中毒了有头晕呕心、头晕、困倦、呕心、干呕等症壮;急慢性慢性慢性中毒了患病陡然,有发烧、昏厥、整体抽搐、急慢性肾脏表衰退及整体急慢性新生儿黄疸等症壮;对心、肝、肺等都有可以的危害效果。 

对于坤化氢AsH₃的废气处理可采用吸附式尾气处理设备,有吸附效率好、无高耗能需求、无尘室不产生火源等特点;同时设备各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,全面监控;确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害。


笔者认为,如坤化氢AsH₃相应物料的高饱和度的排出出物标准会对区域和附进者的性命稳定会导致大的后果,因此 ,在排出出标准应先经排出治理 系统实现治理 后面可排出出标准。针对坤化氢AsH₃的有机废气排出治理 系统的推荐就到这了,衷心衷心感谢的阅读书!