2020-12-08 10:59:22 责任编辑: 尾气处理设备制造厂商 0

坤化氢AsH₃,也称砷烷,是一种无色剧毒气体,常用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。
坤化氢对人体组织的危及性:
砷化氢是很强烈的溶战斗意志毒素,砷化氢气体甲醇食物中毒地步与吸多砷化氢的盐浓度增进一些,替伏期愈短则临床医学体现愈较为严重。中度气体甲醇食物中毒有晕乎乎、头疼头晕、浑身无力、作呕、拉稀等有什么不适反应;中慢性气体甲醇食物中毒致病急骤,有高烧、晕倒、颤抖、亚急性肾能力哀竭及浑身中慢性总胆红素等有什么不适反应;对心、肝、肺等同样间接的危害用。对于坤化氢AsH₃的废气处理可采用吸附式尾气处理设备,有吸附效率好、无高耗能需求、无尘室不产生火源等特点;同时设备各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,全面监控;确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害。
