2020-12-08 10:59:22 责任编辑: 尾气处理设备制造厂商 0

坤化氢AsH₃,也称砷烷,是一种无色剧毒气体,常用于半导体工业中,如外延硅的N型掺杂、硅中N型扩散、离子注入、生长砷化镓(GaAs)、磷砷化镓(GaAsP)以及与某些元素形成化合物半导体。
坤化氢对人體的导致性:
砷化氢是强的溶战斗意志毒素,砷化氢气体食物中毒症壮度与吸多砷化氢的溶液浓度紧密涉及,替伏期愈短则临床药学表現愈特别严重。中度气体食物中毒症壮有头晕反胃、头胀痛、浑身无力、反胃、干呕等症狀;中中重度气体食物中毒症壮有这种情况骤降,有发高热、昏迷不醒、痉挛、突然肾性能器官衰竭及下半身中中重度黄疸高等症狀;对心、肝、肺等也会有进行的有毒做用。对于坤化氢AsH₃的废气处理可采用吸附式尾气处理设备,有吸附效率好、无高耗能需求、无尘室不产生火源等特点;同时设备各管路进、出口设计压力、温度、CDA流量、N2流量传感器,针对设备运行时各种状况,全面监控;确保尾气处理的安全性处理过程中没有危害。
