随着时间推移半导体器件材料企业蓬勃发展趋势的发展趋势，用户对在半导体器件材料制作业中形成的巨大有腐化性有害易失火有害工作环境的气味解决和废气排放解决机（Local Scrubber）提供 了极高的规范。

在半导体器件行业结合三极管芯片和结合三极管生产中，将很多沉渣掺加半导体器件行业物料内，使物料拥有要求要的导电的类型和需要的电阻功率器率，以生产电阻功率器、PN结、埋层等的工步被可称参杂制作生产工艺。参杂制作生产工艺所用到的的实验室固体可称参杂实验室固体，就是种混合着气，主要包扩砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。

含氟化合物废气的危害性

含氟有机物的有机废气物排放，需经排放整理装备整理右后方可排掉，以至于会对近郊人工和生态会促使太大的威害。如氟化氢（HF）有激烈的伤害性和的腐蚀功能，可在吸呼道口腔口腔粘膜、白色皮肤和胃肠道吸引,对躯干一身行成毒素功能。氟能人与本人体肌肉和血渍中的钙根据，得以促使氟骨病。长期性展现在低氨水溶液浓度值的盐酸液体中，可激发牙龈酸蚀症，使牙龈越来越粗糙无油润，易患牙龈炎。当气氛中HF氨水溶液浓度值为0.03-0.06mg/m3时，小型牙斑釉发病率严重增加。HF的萎缩性重毒可会促使鼻口腔口腔粘膜溃烂、鼻中隔打孔等，还可激发肺玻璃纤维化。高氨水溶液浓度值的HF能激发气管炎和支气管炎。

吸附式尾气处理设备

废气气体吸剂剂式烟气进行机（Local Scrubber）基本上能进行这些小人流量的工业废气，是半导体技术厂经常用到的烟气进行机，废气气体吸剂剂是利用多孔性固状废气气体吸剂剂剂进行结合废气，使表中含有的一个或好几种成分废气气体吸剂剂于固状单单从表面上，可达分离处理的目的意义。废气气体吸剂剂剂会选择性好，能分开用单独进行一些的过程 不可分开用单独进行的结合物，更有效地解决（或回收公司）有机废气浓度很低的有损物品，油烟净化吸收率高，机简单，进行快捷，且能做到自己控制。

以上，就是关于半导体制程中掺杂工艺中含氟化合物的废气如果未经处理排放对人体和环境危害性和尾气处理设备（Local Scrubber）的简单介绍，感谢您的阅读！