伴随着半导相关行业成长迅猛的成长，现代人对在半导制造业中制造的大批量有侵蚀性有害易爆炸威害学习环境的气态治理和空气治理装置（Local Scrubber）提交了更好的规定。

在光电器件芯片功率器件和融合电源电路生产中，将一些沉淀物掺进光电器件芯片物料内，使物料属于要求要的导电种类和一定的的电阻功率器率，以生产电阻功率器、PN结、埋层等的流程被通称掺入工序。掺入工序选用的有机废气气味通称掺入有机废气气味，都是种相溶气，重点属于砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。

含氟化合物废气的危害性

含氟有机物的有机废气治理汽车排放，需经汽车排放处里机器处里前方可废料，以至于会对周围工人和环镜容易产生极大的损害。如氟化氢（HF）有激烈的刺激效果和耐腐蚀效果，可在喘气道和删、皮肤好和可以使肠胃吸收率,对人们周身会产生致癌性效果。氟能人与人本关节和动脉血中的钙结合实际，关键在于诱发氟骨病。长久的露出在低浓硫酸密度值的氢氧化钠水汽中，可吸引齿轮酸蚀症，使齿轮模糊无油润，易患牙龈炎。当气流中HF浓硫酸密度值为0.03-0.06mg/m3时，孩子 牙斑釉身患率突出曾高。HF的慢性病食物中毒可容易产生鼻和删长泡、鼻中隔串孔等，还可吸引肺食物纤维化。高浓硫酸密度值的HF能吸引气管炎和肺部感染。

吸附式尾气处理设备

物理吸收物剂式废气排放排放除理生产设施设配（Local Scrubber）近乎能除理故而小客流量的废液，是光电器件厂较常用的废气排放排放除理生产设施设配，物理吸收物剂是利于多孔性产物物理吸收物剂剂除理混杂空气，使里面富含的另一种或不同混物物理吸收物剂于产物漆层上，实现目标单独单独进行的作用。物理吸收物剂剂考虑高，能单独单独进行另外环节其特性很难单独单独进行的混杂物，有效性地处理（或回收利用）渗透压很低的不好产物，净化工程吸收率高，生产设施设配简单化，实际操作便捷，且能实现目标全自动抑制。

以上，就是关于半导体制程中掺杂工艺中含氟化合物的废气如果未经处理排放对人体和环境危害性和尾气处理设备（Local Scrubber）的简单介绍，感谢您的阅读！