根据半导体材料技术行业内日新月异的发展壮大，现代人对在半导体材料技术营造业中诞生的过量有生锈性无毒易失火损害区域的有毒气体进行处里和汽车尾气进行处里产品（Local Scrubber）入宪了更加高的耍求。

在光电器件功率器件和结合用电线路制做中，将某类钙镁离子掺加光电器件的用料内，使的用料兼备必备要的导电类型的和一些的阻值率，以制做阻值、PN结、埋层等的工作被称呼添加的的工艺。添加的的工艺常用的混后气味称呼添加混后气味，不是种混后气，主要还有砷烷、磷烷、三氟化磷、五氟化磷、三氟化砷、五氟化砷、三氟化硼、乙硼烷等。

含氟化合物废气的危害性

含氟有机物的的废气排放，需经排放治疗装置治疗前方可排放，那样会对身边人工和区域环境诱发大的伤害。如氟化氢（HF）有极强的多种多样和的腐蚀做用，可顺利通过呼入的道删、皮夫和肠腔吸收能力,对躯干混身存在毒素做用。氟能两个人本骨骼肌和血细胞中的钙根据，而使会导致氟骨病。继续体现在低溶液渗透压的氢氧化钠水蒸汽中，可带来你都槽牙酸蚀症，使你都槽牙粗糟无亮泽，易患牙龈炎。当空气的中HF溶液渗透压为0.03-0.06mg/m3时，孩子 牙斑釉身患率显眼增强。HF的漫性气体中毒可诱发鼻删糜烂、鼻中隔破裂等，还可带来肺黏胶纤维化。高溶液渗透压的HF能带来咽喉炎和病毒性肺炎。

吸附式尾气处理设备

溶解性式烟气补救机器主机器设备（Local Scrubber）可以说能补救之所以小客流量的废液，是半导体器件厂最常见的烟气补救机器主机器设备，溶解性是进行多孔性粉末状溶解性剂补救搭配甲烷气体，使在这当中什么食物含硒的一类或多重酚类化合物溶解性于粉末状外面上，完成拆分的目的意义。溶解性剂确定高，能分类建立一些的时候不易于分类建立的搭配物，能够地清理掉（或回收分类处理）酸度很低的有毒产物，净化器有净化率高，机器主机器设备单纯，操作步骤便利，且能改变自然调控。

以上，就是关于半导体制程中掺杂工艺中含氟化合物的废气如果未经处理排放对人体和环境危害性和尾气处理设备（Local Scrubber）的简单介绍，感谢您的阅读！