半导体芯片晶圆厂在晶圆制造厂生产工艺中实用到的药剂学的物质的种类层出不穷，所用到的到的原原材料或副有机物含好几种辐射危害性的气物，在生产工艺后突然出现残留物称为烟粉尘，汽车尾气办理系统(Local Scrubber)設置目标，说是想要办理比如因此的辐射危害性的气物。

半导体制程中使用气体

遵循原则各种相关的规定轰炸次数在10%以内或轰炸次数与次数之差在百分第二十大于之有毒气体，在半导体行业厂便用的有：AsH3、B2H6、SiH4、SiH2Cl2、Si2H6、SiHCl3、GeH4、PH3、NH3、H2、H2Se、H2S等；前提条件相应的规定标准允许值含量在数百万分第二百以上之毒素汽体在半导体芯片厂选用的有：AsH3、AsCl3、B2H6、BF3、CL2、SiH4、SiF4、NH3、CCl4、HBr、HF、PCl3、POCL3、GeH4、PF3、HCl、PH3、H2Se、H2S等。

另外包涵各种各样非常规铝合金与氢化物如SIH4、WF6等物品；同一时间因为维持机台的工作温度控制器、抗化学上的反映的注油与非常规业务需求，也会使用的较涨大分子的PFCs等温室危险有机废气有害混合气体。某些危险性危险有机废气有害混合气体及全氟单质，有好多是更具2项这之性质，如锈蚀不锈钢性性危险有机废气有害混合气体，般一般来说亦同一时间更具渗透性;又如PH3则更具锈蚀不锈钢性和渗透性外，亦更具可燃性，且对学习环境及人休的影响相等于大。某些制作工艺后残存的危险有机废气有害混合气体假设于管网中反映，轻者有可能会导致管线淤塞、管道锈蚀不锈钢等方面，厉害者因此再次发生泄露及火情爆出，退出制作的不良后果。

工艺废气排放补救装备(Local Scrubber)安装重要性

生产工艺废气尾气排出要求治理机器设备(Local Scrubber)设立之的目的，就算成了治理某种意义或者的害处性其他气味，让其在洁净室室机台端(POU)反映被尾气排出要求出后，即由机械泵Pump抽至Local Scrubber做治理，禁止在冗杂的排气口时候中引致非预期的的其他气味液化气泄漏，产品局部聚积或上下级反映。待治理时候的其他气味再延续至厂务端做第三道正确加工处理，以才能减少厂务端影响物治理上的强度，达到对半导体设备业氧气影响管理及尾气排出要求的要求。假若之一旦有发动机故障从而会发生外泄的方面，很也许 会引起很多威胁如发生火灾爆炸案、员工中毒症状、环境影响等伤害图片，难治时更也许 引致员工事故或产生出现中断等许许多多损耗，于是在国内各晶圆厂莫不藉由很多的管理的方法，来高达制造空气领域进行处理仪器的威胁调整。

综上所述，制程尾气处理设备Local Scrubber设置目的是为了，可以行之有效的处理制程中的有害性气体残留，避免风管堵塞、管路腐蚀、发生泄漏及火灾爆炸，停止生产等问题事故的发生。