半导体技术晶圆厂在晶圆创造工艺中应用到的物理化学东西类非常多，适用到的原原料或副物品富含多种类危害性有机废气物，在工艺后导致残余物加入有机废气物，汽车尾气治理 装置(Local Scrubber)装置主要目的，就是为了治理 比如对此的危害性有机废气物。
半导体制程中使用气体
理论依据有关于归定爆款超出在10%下类或爆款超出与超出之差在百分其二十之上之有害气体，在半导体芯片厂运用的有：AsH3、B2H6、SiH4、SiH2Cl2、Si2H6、SiHCl3、GeH4、PH3、NH3、H2、H2Se、H2S等；合理性相关内容规定标准准许浓度值在上百万分其二百下列之致毒乙炔气在半导体技术厂应用的有：AsH3、AsCl3、B2H6、BF3、CL2、SiH4、SiF4、NH3、CCl4、HBr、HF、PCl3、POCL3、GeH4、PF3、HCl、PH3、H2Se、H2S等。
进来分为多种不同特色不锈钢与氢化物如SIH4、WF6等有机氧化物；一起为了能让保证机台的工作温度把握、抗电化学想法的防锈水与特色所需，也会用到较好的成绩子的PFCs等温室甲烷其他乙炔气。某些微害性甲烷其他乙炔气及全氟氧化物，有有很多是含有两种以下之特征参数，如强酸强强碱甲烷其他乙炔气，似的所说亦一起含有毒副作用;又如PH3则含有灼伤性和毒副作用外，亦含有可燃性，且对环保及人體的不良影响差不多大。某些制造后残存的甲烷其他乙炔气若是于输水管线中想法，轻者也许 会导致通风风管拥堵、线路灼伤等间题，可怕者以及进行透漏及火情我们，停掉生产制造的影响。
工艺汽车尾气处里机械设备(Local Scrubber)使用基本原则
制造烟气整理装备(Local Scrubber)设为之基本原则，就只为整理比如该类的微害性其他乙炔气，让其在无尘灰室机台端(POU)影响被废气排放出出后，即由机械泵Pump抽至Local Scrubber做整理，规避在冗杂的排气管期间中引致非预期的的其他乙炔气流出，线条聚积或主动影响。待整理完后的其他乙炔气再转续至厂务端做其次道处里，以少厂务端造成的污渍整理上的热负荷，做到对半导体器件业大气造成的造成的污染管控及废气排放出的标淮。若是一种旦有常见故障行而突发渗漏的一些问题，很概率会促使各式风险如失火爆燃、工作人士中毒症状、情况摧毁等伤害力，嚴重时更概率从而造成工作人士意外死亡或生产制造异常中断等极大伤害，于是国内的各晶圆厂莫不藉由各式的管理玩法，来高达工艺汽车尾气空间区域治理设配的风险抑制。
综上所述，制程尾气处理设备Local Scrubber设置目的是为了，可以行之有效的处理制程中的有害性气体残留，避免风管堵塞、管路腐蚀、发生泄漏及火灾爆炸，停止生产等问题事故的发生。
