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从特气选用的视场角说明特气柜的基本功能：

硅烷（SiH4）不是种在低温自然压下极具臭气熏天的晶体甲烷甲烷实验室气体。它还不是种在温度下能起火、在热空气或卤化物甲烷甲烷实验室气体里能爆表性自燃的高毒性性防化甲烷甲烷实验室气体。

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最后，杏彩体育网 WOFLY全自主特气柜（GC）拥有SEMI S2认证，SEMI S2（Safety Guidelines for Semiconductor Manufacturing Equipment）是针对半导体制程设备供货商所规范的基本健康和安全要求安全标准，代表了半导体厂家的基本安全要求。

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