在半导产品材料新加工制作工艺 加工制作工艺 中，要施用多类特种甲烷实验室气体、很大的酸、碱等无机危险品与有机的石油醚和释放性液状体，某些甲烷实验室气体和无机危险品在半导产品材料加工生产加工的不相同新加工制作工艺 中施用会诞生废水，某些废水若是不过程废水补救产品有效的补救便通过释放，将诱发非常严重的故障 ，不仅仅影向朋友的体内建康，受到破坏霸气周围条件，诱发周围条件生态破坏的公害新闻事件等，也会作为半导产品材料加工生产加工中AMC生态破坏的关键性来自。

半导体器件制造生产技术中形成的尾气类目大慨有：应该其他气体尾气、含致癌性化学产品的尾气、有机会尾气和具有强酸/酸性化学产品的尾气。

而对于包含有偏酸/酸偏碱物质的排放物，半导体器件材料厂多半采取中大型干洗式中共中心地方军事排放物操作平台采取操作。但由半导体器件材料手工制造事业空间区域离中共中心地方军事排放物操作平台路程近好，为此部份偏酸/酸偏碱排放物在推送至中共中心地方军事排放物操作平台前，常因混合气体因素使得在管材中结晶体或焊接烟尘堆砌，造成的管材堵住了后使得混合气身体之外泄，可怕者虽然导至爆表，风险场地事业人的事业安全防护。

所以，在工作区域需配置适合制程气体特性的就地废水清理设配进行就地处理，之后在排入中央处理系统，从而避免事故的发生，这就是为什么应就地配置废气处理设备的原因。