半导工业化的园在给很多人面临平安财富的时，也伴渐渐对人类文明长期生存周围生态环境的危害性。近些以来来，半导工业化的园的周围生态环境大问题因为全国中国社会的非常大关注度。在半导制作业制作技艺中会操作多个性化的气体如PH3、SiH4孩他，时不断来的的是大批烟气的出现。许多半导制作业制作技艺中技艺烟气要是不予烟气处置装置（Local Scrubber）高效地减退烟气废气量及废气氨水浓度，可能会会给周围周围生态环境面临频发的破坏，并有可能会危害很多人的生命值很安全。

在这其中，在半导体器件研制生产加工制作工艺 中PH3陆续参与吸附和阴阳离子进入加工制作工艺 ，一种无色透明的有害物废气，最易燃，具备灼伤性和强替换性，遇热的用火有丙烷燃烧发生了爆炸的凶险。曝露在废气中可以问题。人们本身只要吸取到PH3，会不良影响人们本身的上皮细胞消化吸收，发生了内晕厥，损坏精神整体等。

PH3废气可通过物理吸附式有机废气治理操作设施（Local Scrubber）进行处理，制程生产的废气在风机压力下由入气口管道进入主吸附桶，废气中需要处理的有毒气体组分在主吸附桶中被吸附剂吸附处理，吸附后的废气经变色球检验合格后从出气口排出，再送至central scrubber 做水洗中和处理后，最后排入大气，确保废气处理的安全性处理过程中没有危害。

总而言之，PH3不是种制癌的高威胁性性固体，体验制造工艺技术中的扩撒和化合物加入，需经工业废气正确办理主设备正确办理才可产生，应对对的环境和周遍人群的人体建康引起威胁。