对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对普通的氦气来说，考虑到其并未身为工艺中的反應甲烷气体，能能应用经耀光烧结法（Bright Anneal）外理的316L不锈无缝管，即SS316L BA管，也能能用到经电化学的洗涤（Chemical Clean）外理的316L不锈无缝管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6毫米。