对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对普通的N2来看，致使其并不予为工艺中的的反应废气，可不是可以运用经光耀焙烧（Bright Anneal）治理的316L不锈保温无缝管，即SS316L BA管，也可不是可以选用经化学物质清洁（Chemical Clean）治理的316L不锈保温无缝管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6μm。