对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对常规N2而言的，会因为其并不为为制造中的不良反应有机废气气体，会配用经光荣煅烧（Bright Anneal）整理的316L不锈圆镀锌管，即SS316L BA管，也会采用了经检查是否进行维护清洁（Chemical Clean）整理的316L不锈圆镀锌管，即SS316L CC管。其Ramax为3-6毫米。