对于特种工艺气体而言，由于在芯片生产中需要与芯片接触并参与反应，因此需选用经电解抛光（Electro-Polish）处理的316L不锈钢管，即SS316L EP管，其耐腐蚀性好，表面粗糙度低，Ramax（最大表面粗糙度）<0.7微米。光滑的表面使颗粒无从吸附滞留，从而保证气体的纯度。

对常见离氮气现阶段，考虑到其并不于为工艺中的想法空气，能够 选购经光耀焙烧（Bright Anneal）解决的316L不锈管材，即SS316L BA管，也能够 应用经电学冲洗（Chemical Clean）解决的316L不锈管材，即SS316L CC管。其Ramax为3-6μm。