TFT-LCD（塑料膜结晶体管夜晶现示屏）有的是种地基机系统，自四十新世纪八十五年间着手民用型到现在，它已经变成为当今生命不或缺的组成领域领域，其软件应用远不受到限制TV机和智慧手机上，它产生于他们每天的生命中的方领域面：机械手表（可佩戴装置）、家电、电视广告、标牌设计、小轿车等。在这里主耍解释以下现示加工制造艺必备要的特殊汽体，和要确保汽体卫生气流输送运行的特气机系统。

TFT表示屏生产与半导体材料集成电路芯片生产角度有有很多相拟优点，打比方：这几种生产整个过程中都须得采用大量的的气体、打比方工艺设备操作关键步骤中的基性岩、刻蚀、擦洗和夹杂，还是有另一操作关键步骤采用的的的气体的类型也都很相拟。

一些有害气态中电子器材特总有害气态（ESG）包扩硅烷、三氟化氮、氟（现厂诞生）、六氟化硫、二被化合物氮或是酸洗氢混物，占提示 屏生产制造厂中食用有害气态的52％。比方说硅烷：SiH4是提示 屏生产制造厂中最至关重要的有害气态之五，与二被化合物氮（NH3）搭配食用，出现应用在非晶硅（a-Si）结晶管的氮化硅层，与离氮气（N2）搭配食用，出现应用在恒温多晶硅（LTPS）结晶管的预准原子核激光器热处理非晶硅（a-Si），或与被化合物亚氮（N2O）搭配食用出现黑色金属被化合物物（MO）结晶管的被化合物硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

由此可见，TFT-LCD体现屏制作中PECVD（等阴阳离子体不断增强电学气相色谱的堆积）、蚀刻、LTPS和MO硫化锌管的生產都是需要动用独特的工艺气休，而特气整体中的SEMI S2认真的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP及其特气管路确定独特的工艺气休的安全可靠输送管，并确定气休色度和增强气压。