TFT-LCD（塑料膜晶状体管液晶屏幕上led屏幕幕上led屏幕）就是种基本的技术，自二十二世纪经典八十五朝代逐渐开始商用开始，它不复为当今很多家庭衣食住行不能或缺的根据要素，其应用软件远不受到限制电视节目机和自动化的手机，它长期存在于我们都守则衣食住行中的方等方面面：女士手表（可穿带仪器）、电器产品、的广告、导向牌、汽车汽车等。今晚主要解释下屏幕上体现造成生产工艺所须要的特别有机废气有毒气体，和可以保障有机废气有毒气体健康运送食用的特气软件。

TFT信息液晶显示屏加工创造与电子器件器材加工创造地方有有很多形似地方，假如：这两种方式加工创造方式中都是需要安全操作多有害的气体、假如生产技术方法中的积累、刻蚀、清扫和参杂，另外 任何方法安全操作的有害的气体种类也都相对形似。

这么多气味中智能电子持种气味（ESG）涉及到硅烷、三氟化氮、氟（直播 发生）、六氟化硫、二阳极脱色氮、磷化处理氢相混物，占呈现屏手工制造厂中选择气味的52％。打个比方硅烷：SiH4是呈现屏手工制造厂中最至关重要的气味之首，与二阳极脱色氮（NH3）融合选择，型成应中用非晶硅（a-Si）结晶管的氮化硅层，与惰性气体（N2）融合选择，型成应中用温度低多晶硅（LTPS）结晶管的预准大分子脉冲激光渗碳非晶硅（a-Si），或与阳极脱色亚氮（N2O）融合选择型成金屬阳极脱色物（MO）结晶管的阳极脱色硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

与此同时，TFT-LCD显现屏制造出中PECVD（等铁离子体促进化学上气质联用岩浆岩）、蚀刻、LTPS和MO晶状体管的生产的都必须使用的特别乙炔气，而特气系統中的SEMI S2认证证书的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP或特气排水管道切实保障特别乙炔气的安全防护输料，并切实保障乙炔气纯净度和维持的压力。