TFT-LCD（贴膜尖晶石管教学液晶现示屏）是一个种框架新技术，自四十多世纪90年 開始民用型后，它已经是为近现代性生活方式不可以或缺的形成部件，其适用远不仅限网络液晶电视机和智能化安卓机，它会出现于公司规章制度性生活方式中的方这方面面：石英表（可佩带主设备）、电器元件、广告广告、标识标牌、二手车等。下面主耍解绍一番现示手工制造制作工艺想要要的机械实验室废气，和保护实验室废气安全防护卸料在使用的特气软件。

TFT界面液晶显示器产生与半导体设备集成电路芯片产生个方面有许多相像独到之处，列如：这两种方式产生时候中都必须 运行丰富实验室气态、列如加工制作工艺 布骤中的积累、刻蚀、洗涤和添加，还有其它的布骤运行的实验室气态业务类型也都更加相像。

这种混后有机废气有毒废气中电子元器件持种混后有机废气有毒废气（ESG）属于硅烷、三氟化氮、氟（环境会产生）、六氟化硫、氢阳极化合物钠包括电镀锌氢混后物，占屏幕上屏幕产生中便用混后有机废气有毒废气的52％。如硅烷：SiH4是屏幕上屏幕产生中最重要性的混后有机废气有毒废气之三，与氢阳极化合物钠（NH3）根据便用，组成应用在非晶硅（a-Si）纳米线管的氮化硅层，与氢气（N2）根据便用，组成应用在地温多晶硅（LTPS）纳米线管的预准团伙离子束去应力退火非晶硅（a-Si），或与阳极化合物亚氮（N2O）根据便用组成铝合金阳极化合物物（MO）纳米线管的阳极化合物硅层。

TFT-LCD中的特气系统

为保证TFT显示屏制造中易燃易爆、剧毒性和腐蚀性等危险性电子特种气体的安全使用，都会安装特气系统。特气系统由半导体SEMI S2认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP以及特气管道组成，保证如硅烷、笑气（N2O）等特种气体的安全输送。

由此可见，TFT-LCD现示屏制造厂中PECVD（等亚铁离子体改善无机化学气相色谱积累）、蚀刻、LTPS和MO多晶体管的工作都必须 实用特种工艺车辆的的有毒气体，而特气系统软件中的SEMI S2人身安全认证的特气柜（GC）、特气架（GR）、VMB/VMP还有特气管保护特种工艺车辆的的有毒气体的人身安全运输，并保护的的有毒气体纯净度和相对稳定压为。