成都 杏彩体育网 信息技术有限制工厂技术研制开发装修设计营造高纯生产技术汽体系统微电子特气生产技术尾气排放外理系统local scrubberWFS-100F物理吸附式local scrubber 废气排放解决装置可解决的气体类别具有半导体器件、液晶屏并且 太阳队能等制造行业中蚀刻生产工艺与检查是否气质联用岩浆岩生产工艺中选用的特气，其主要具有SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。