近期来，以大占比智能家居控制控制电路为表示的微电子技艺为了满足电子时代发展的需求，的产品制造对高纯有毒有害气体的色度和沉渣水平的空前严格的的耍求，使能有效保障高纯有毒有害气体的色度，提高沉渣环境破坏的配管技艺也空前备受特别关注和注重。

一方面我国仔細简易介绍了解自动化行业领域中的长见混合气体：

平凡气味，也称大综气味 (Bulk gas )：

离氮气(H2)、离氮气(N2)、纯氧(O2)、氩气(A2)等

特中混合气体(Specialty gas )：

有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等

特殊性乙炔气的类形普通来说可分成结垢性、渗透性、可燃性、助燃性、惰性等，普通来说惯用的半导体设备乙炔气进行分类有以下：

1. 蚀化性/致癌性：HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

2. 可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

3. 助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3等

4. 惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体材料汽体多是对机体有毒，如SiH4的爆燃性，仅仅一液化气泄漏就可以与废气中的氧气瓶起激动影响，刚开始助燃;也有AsH3的巨毒性等，一些皆是无一例外的产生，因为对能应急稳固运输用一些汽体的高纯汽体管道网操作产品规划的概念应急性的规范要求也特殊高。

高纯气配管技术是高纯有害气体pvc管道设计中重要的组成部分，包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容是能否将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。

综合上面的，能知气休线路体统中，线路是气休的运载质粒载体，在确保气休饱和度的事情下，将气休安全可靠管理保持稳定的气流输送至用气点，做到的生产安全管理可靠管理和效率。