近近些年来，以大人数模块化集成运放为代表会的微智能產品产出对高纯气味的含量的和不溶物含量的的愈发苛刻的规定要求，使能切实保障高纯气味的含量的，提高不溶物造成的污染的配管高技术也愈发遭受到关注新闻和受到重视。

关键在于让我们仔細方便理解一个自动化相关行业中的典型空气：

一般的气味，也称大型气味 (Bulk gas )：

氡气(H2)、离氮气(N2)、纯氧(O2)、氩气(A2)等

劳动防护固体(Specialty gas )：

有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等

特别的有害汽体的用途通常可划分成生锈性、致癌性、可燃性、助燃性、惰性等，通常经常用的半导体材料有害汽体分级有以下：

1. 浸蚀性/致毒：HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

2. 可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

3. 助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3等

4. 惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

半导体技术其他空气非常多是对人体内有很大危害性，如SiH4的火灾性，要一用户名就是与废气中的二氧化碳气起胸骨后疼痛体现，进行丙烷燃烧;另外 AsH3的有毒性等，此类几乎都是不置可否的的平安，以这对能的平安稳定的运输用此类其他空气的高纯其他空气给水管操作系统监控构思的平安性的的标准也尤其是高。

高纯气配管技术是高纯气休途径系统的中重要的组成部分，包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容是能否将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。

上述讲到，得知固体排水管道铺设机系统中，排水管道铺设是固体的装卸搬运媒体，在后勤保障固体色度的前提下，将固体防护不稳的气力输送机到用气点，确认出产防护和質量。