近三年前，以工业化性结合电线为带表的微电子技巧设备厂品产出对高纯有害气态的溶解度和沉淀物残渣占比的空前从严的规定要求，使能的保障高纯有害气态的溶解度，限制沉淀物残渣的污染的配管技巧也空前给予的关注和重视程度。

最先让我们还来容易熟悉两下电子器材业中的典型空气：

硬性其他气物，也称特色其他气物 (Bulk gas )：

氡气(H2)、氦气(N2)、二氧化碳(O2)、氩气(A2)等

珍禽汽体(Specialty gas )：

有 SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6.....等

专项 气休的品种基本可可分成耐蚀性、毒副作用、可燃性、助燃性、惰性等，基本最常见的光电器件气休分类管理以下：

1. 蚀化性/致毒：HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 等

2. 可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等

3. 助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3等

4. 惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等

光电器件气休越来越多是对人體微害，如SiH4的问题性，只需要一渗漏才会与热空气中的氧气罐起急剧发生反应，进行燃燒;有着AsH3的高毒性性等，以上就是不置可否的具有很大的风险，因为对能防护稳定性高输送带用以上气休的高纯气休地埋管制定制定防护性的让也尤为高。

高纯气配管技术是高纯其他气体水管模式中重要的组成部分，包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容是能否将符合要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术。

与此同时，可以知道有害固体管系统中，管是有害固体的运输管理质粒载体，在有保障有害固体溶解度的具体情况下，将有害固体安会的安稳的输料到用气点，保证质理出产安会的和质理。