2021-01-26 10:45:59 责任编辑: 高纯气体管道安装公司 0
什么是高纯气体管道配管技术?所谓的高纯气体配管技术,是包括高纯供气系统的正确设计、阀门管件及附件的合理选择、管道施工、安装试验和测试等;是高纯气体供应系统的重要组成部分;是保证高纯气体安全稳定的输送到用气点,且符合设备使用要求的关键技术。
高纯气体管道工程应用领域
高纯气味地埋管体统施工塑造能做到气味的溶解度、做到准则气味总流量、压力差增强和量值交换不形成改变等特征 ,丰富应运于半导体芯片、一体化电源电路、光电产品、汽车相关行业、新能源环卫车类型系统、奈米、光纤宽带、微电商、中国石油医药公司化工、动物医药公司、各方面探讨室、科技信息探讨所、准则测式等高新信息相关行业。常见气体种类:
在光学轻轻工业中经常气态,也称大批气态(Bulkgas):离惰性气物(H2)、离惰性气物(N2)、O2(O2)、离惰性气物(A2)等;除经常气态外,光学轻轻工业还有机会用作大批量的高纯特总气态(Specialty gas ),如:SiIH4、PH3、B2H6、CL、HCL、CF4、POCL3、BCL3、SIF4、CLF3、C2F6、N2O这么多。这么多独特气态结合气态性能,专业类别经常可有耐酸性、渗透性、易然性、助燃性、惰性等。常用半导体气体分类如下:
(一)浸蚀性/渗透性: HI、BF3、WF6、HBr、SiH2C2、NH3、PH3、C12、BCI3等(二)可燃性: CH4、SiH4、PH3、AsH3、SIH2CI2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO等(三)助燃性: O2、C12、N2O、W3等(四)惰性: CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He等以上,便是关于高纯气体配管技术及电子工业中常见的气体种类的简单介绍,感谢您的阅读!