光电子集成电路芯片及大光伏保护膜技术会的使用到超标纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，以上固体有着易燃易爆、毒害性、强耐腐蚀等功能，但同一也是精密铸造光电子集成电路芯片电商元集成电路芯片、新生物质能源光电子好產品手工制造的必难以少的比较重要原辅材料。在产出中若发现固体氯气泄露，就会有引致更加比较严重的好產品级量和自身意外事情事情。故为确门卫全很安全，对此超标纯特气的输料通风途径所采用不锈钢管两层通风途径技术。该通风途径工程时，对作业题生态环境是否干钻戒颜色、通风途径上下管道的是否干钻戒颜色、锡焊和安装程序性能的标准要求都更加高。本篇就为许多人介紹以下超标纯特气双线管的技术原则和工程实际操作原则。

双保护管加工过程方法发展历程：  使用水准15°倾斜度摆放在姿式参与制作生产制造，顺钢管内导电介质流往高纯惰性气体（99.9999%）参与吹扫，不锈钢装饰管拉簧图案填充单层管内层后用专属缩管控制系统参与缩管制作生产制造，单层地埋管外内充纯氩（99.9999%）护理的全自動正轨氩弧对焊触和柔软合金螺母一端密封性接触，配合氦气检漏的方法目的，以确保外内层地埋管洁净车间度、封闭性、缩管性能并且 地埋管对焊装设性能。

双电缆套管生产加工装有进行操作难点：1. 是否干净自然环境：当场设置成三段式预制件粗加工处理是否干净行政区域，建造飞行是否干净室，符合要求油烟净化档次不达不到9级，保证钢塑复合管粗加工处理的是否干纯净度，打开是否干净室的技术人员就必须穿带洁服、是否干净帽、是否干净鞋、是否干净防护手套等；2.排水排水管生产制造：孔口的生产制造是本来进行工程施工流程水平的关键环节点之1，排水排水管切开、装配式均在洁净度大环境来进行，并且确认排水排水管切开前表层无害处疤痕、碰坏。排水排水管打开使用前先要做好管中冲氮的注意做工作；3.管线与物品及仪器无线接触按装：对於运输容易燃烧、毒害性特种甲烷气体的两层管线，其与闸阀、气表及仪器无线接触使用轻铝和金平垫面密闭连接管（VCR）按装，轻铝和金平垫使用软性镍和金平垫，保证 密闭缜密；4.管材铺设装：双层线路管材铺设熔接碰头最好电源接口处，采用了提高端部滑套的装手段。

以上，便是关于半导体超高纯特气双套管工艺的工艺原理和操作要点介绍，双套管工艺对超高纯特气系统建成后能对运行中的人员安全和产品质量起到了很好的基础保障作用。