三氟化氮（NF3），在電子光学器件工业化的园中是种品质的等化合物蚀刻有害有害其他气体，根据微米工艺和電子器件工业化的园的飞快发展进步，其的消费量也在日渐添加。高纯三氟化氮（NF3）都是電子器件特气，毒副作用较好，身体单独接触的面积有 更大的的危险，这，便都要電子器件特气柜这样一来的机械有害有害其他气体设备来保护有害有害其他气体的溶解度和便用卫生。

啥子是三氟化氮？

三氟化氮（nitrogen trifluoride）化学工业式NF₃，在常温状态下下是种种没有颜色、无臭、特性不稳的空气，是种种强防氧化反应。NF3是低致毒的物质，因为它能猛烈多种多样一只眼睛、皮肤图片和人工支气管黏膜，腐烛组织机构，探究显示：大鼠吸气1000ppm·l小的时候内未有身故，但显现高铁站猩红血清血症，当吸气10000ppm·l小的时候内有身故，在2500ppm时吸食毒品后4小的时候内身故。要清楚在电子光学无线业刻蚀技术中，所利用的NF3是吸收在空气瓶中的高纯净度压缩成空气。

三氟化氮的应用领域：

高纯三氟化氮（NF3）兼有愈来愈成绩突出的蚀刻传输率和考虑性（对阳极氧化硅和硅），它在被蚀刻物外表面没留随便残余的物，的与此同时是愈来愈优秀的刷洗剂。三氟化氮重点用来耐腐蚀气相色谱仪淀积（CVD）系统的刷洗，的与此同时在心片加工、源能智能机械器上能够了大批的操作。三氟化氮可单一或与以外的别的气味组成，看做等阳离子体加工过程的蚀刻气味，如，NF3、NF3/Ar、NF3/He适采用硅单质MoSi2的蚀刻；NF3/CCl4、NF3/HCl既适采用MoSi2的蚀刻，也适采用NbSi2的蚀刻。

电子特气柜的功能作用：

手机特气柜是专为可燃性易爆、毒素、腐化性等隐患性固体厂家直销而装修设计的特种作业固体系统化机械，按分类可分全半自動的、半半自動的和全自己操作使用，有包扩半自動的吹扫、半自動的设置成相应紧急救助情况发生下的半自動的安全性掐断（当确定报案表现被启用时）等常规模块。

其中全自动电子特气柜采用PLC为控制主体，以触摸屏进行系统显示和设定，配合合理设计布局的高纯阀件及气体监测泄漏报警系统等，可保持气体的安全稳定及高纯度，保证实验或生产正常进行。

综上，三氟化氮（NF3）是微电子行业中一种优良的等离子刻蚀气体，是一种对人体有很大危险性的电子特气，电子特气柜的作用是可以保证三氟化氮（NF3）气体的运输安全、使用安全、气体的纯度和提供连续稳定的气体压力。感谢您的阅读！