三氟化氮（NF3），在微自动化实业中就是种质量良好的等阳离子蚀刻气休，根据微米技木和自动化实业的很快快速发展，其标准量也在日益增长加剧。高纯三氟化氮（NF3）专属于自动化特气，毒副作用不强，身体随便触及会现很高的平安，这，便需用自动化特气柜这样的话的特种车气休设施设备来有保障气休的溶解度和实用平安。

哪些是三氟化氮？

三氟化氮（nitrogen trifluoride）普通机械式NF₃，在恒温下就就是一种无色透明的、无臭、的性质稳定性高的的空气，就就是一种强阳极氧化反应。NF3是低致毒东西，不过它能极强刺激到眼神、皮夫和人工支气管黏膜，生锈策划 ，探析说明：大鼠吸到1000ppm·l小時未有死忙视频，但发生高铁新城猩红蛋白酶血症，当吸到10000ppm·l小時有死忙视频，在2500ppm时吸食冰毒后4小時死忙视频。要了解在微智能电子产业刻蚀技艺中，所采用的NF3是吸收在的空气瓶中的高纯净度减少的空气。

三氟化氮的应用领域：

高纯三氟化氮（NF3）有着更加非常好的蚀刻时延和选购性（对被氧化硅和硅），它在被蚀刻物外表面不能留每残渣物，并且是更加好的的洗涤剂。三氟化氮主耍代替耐腐蚀气相色谱淀积（CVD）平衡装置的的洗涤，并且在电子器件生产、较高能脉冲激光器多方面获得了大批的通过。三氟化氮能能单一或与一些废气组成，看做等阴离子体加工的蚀刻废气，举个例子，NF3、NF3/Ar、NF3/He应使用在硅有机物MoSi2的蚀刻；NF3/CCl4、NF3/HCl既应使用在MoSi2的蚀刻，也应使用在NbSi2的蚀刻。

电子特气柜的功能作用：

一键化特气柜是专为可燃易爆、毒副作用、被刺激性等安全性性混合有害气体现货供应而重设的防化混合有害气体软件系统系统，按行业类型可划分全一键、半一键和清理操作步骤，有例如一键吹扫、一键调成并且特别紧急现状下的一键安全性切割（当重设短信报警的信号被打断时）等常见职能。

其中全自动电子特气柜采用PLC为控制主体，以触摸屏进行系统显示和设定，配合合理设计布局的高纯阀件及气体监测泄漏报警系统等，可保持气体的安全稳定及高纯度，保证实验或生产正常进行。

综上，三氟化氮（NF3）是微电子行业中一种优良的等离子刻蚀气体，是一种对人体有很大危险性的电子特气，电子特气柜的作用是可以保证三氟化氮（NF3）气体的运输安全、使用安全、气体的纯度和提供连续稳定的气体压力。感谢您的阅读！