2021-01-12 14:03:50 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0
什么是锗烷?
锗烷(GeH4)不是种无色透明的、毒性、可爆燃、非金属腐蚀气物。关于幼儿园锗烷的气物特征,热维持差,较高温高压度时(或许280℃)会可拆解成锗和氯气;自促使性非常强,高发生可转化非常强大,危害性很高!锗烷的用途
锗烷(GeH4)是制造出高纯锗和不同的硅锗耐热合金的极为重要钢筋取样料,注意代替半导体材质,光伏发电阳光直晒能和集成化三极管这个行业。举个例子来说,在MOCVD(合金金属无机物耐腐蚀气相色谱基性岩)施工工艺中,锗烷(GeH4)常和硅烷,采用特气系统化的输送带,做为其他气体钢筋取样料,生产硅-锗bopp薄膜。在半导体材料集成型用电线路电子厂电子元件生产加工制造中,锗烷看作硅-锗(Si-Ge)膜的后驱气物,加入生产加工制造。如果异质结二极纳米线管(HBT)中,薄硅锗层看作二极纳米线管的底材生长的在硅片上,与傳統的硅二极纳米线管比较,硅-锗HBT在效率、反映规律和增加收益上有凸显的优越性,其效率和规律反映不错与更高的镓-砷HBT比较。锗烷特气系统的作用
为半导体器件产业的通用电商气休,基本上都全部都是隐患性气休,如硅烷、锗烷。那些特殊的气休若果采用硬性的的供氧设备软件,会体现了更大的隐患,特别容易造成的故障的突发,不利到种植职工可靠。所以说须要采用有一种对可靠性呈现出更加高耍求的供氧设备软件,也是电商特气设备软件。锗烷特气系统由锗烷特气柜、气体阀门分配箱VMB、耐腐蚀的316L不锈钢管路及气体泄漏监测报警系统组成,主要的作用是保护气体的纯度、安全、提供稳定的气体压力和不间断供气。