2021-01-12 14:03:50 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0

什么是锗烷?
锗烷(GeH4)是一种种透明色、低毒、可着火、非被腐蚀锈蚀性固体。并于锗烷的固体性,热不稳差,较炎热度时(大慨280℃)会转化成锗和氧气;自崔化性很大,诱发生转化容易引起爆炸,危害性性很高!锗烷的用途
锗烷(GeH4)是研制高纯锗和很多硅锗镁合金的注重原料料,首要适用半导,光伏发电地球能和融合集成运放餐饮行业。如,在MOCVD(金属材质生物碳物电化学色谱形成)艺中,锗烷(GeH4)常和硅烷,凭借特气系统化的运送,身为其他气体原料料,转换硅-锗保护膜。在半导结合线路电子设备电子元器件产生中,锗烷做硅-锗(Si-Ge)膜的前置前驱气物,直接参与产生。如果异质结二极纳米线管(HBT)中,薄硅锗层做二极纳米线管的肌底出现在硅片上,与常用的硅二极纳米线管优于较,硅-锗HBT在效率、反应次数和收获上具非常明显的长处,其效率和次数反应就能够与更最贵的镓-砷HBT优于较。锗烷特气系统的作用
作为一个半导领域的普遍微电子厂气休,大都都要快消失性气休,如硅烷、锗烷。他们独特气休如在适用正规的的气路模式,会包括一定的快消失,非常容易造成 交通事故的引发,的威胁到制造人工安会的。任何应该在适用是一种对安会的性拥有会高条件的气路模式,也都是微电子厂特气模式。锗烷特气系统由锗烷特气柜、气体阀门分配箱VMB、耐腐蚀的316L不锈钢管路及气体泄漏监测报警系统组成,主要的作用是保护气体的纯度、安全、提供稳定的气体压力和不间断供气。
