半导体芯片芯片生產生產中会施用到很多特殊的有害固体，因而生产的特气汽车大气时需在汽车大气整理部件Local Scrubber做整理，再延续至厂务端做第二点道妥善解决后坐出。这个是为了能够以免在空泛的泄压阀具体步骤中可能会导致非预期想象的有害固体漏粪，部位聚积或互相症状等意外伤害，以极大减少厂务端废弃物物整理上的强度，可达到对半导体芯片芯片业大气废弃物监管及废气的规则，以免对环境和外面师带来有害。

过滤式废气排放操作试验仪器Local Scrubber基本上可能操作几乎所有小数据流量的甲烷气物（个部分PFC甲烷气物不在其内），还故有不要可燃物、不会产生焦化废水、低水耗的能特质，是特气废气排放操作的使用试验仪器。

在粘附式废气排放工作装置设备 Local Scrubber 中粘附材以高孔洞率和高强度添充大幅提升出口贸易量出口贸易量风压差，由于废气排放出口贸易量端增长变频式新风机可发挥一些用：

1、提高自己应用期：调频送风机可添加抽气水压，以添加制剂安置次数，提高自己应用应用期。2、动态平衡水压：定频轴流式制冷机可结合重设水压值或厂务端汽压定时调节轴流式制冷机转动速度，动态平衡环保设备内水压值随和体的流量，担保进行处理速率动态平衡。3、以免逆流：生产工艺中若含带易堵塞管线和中和剂的粉尘爆炸，PLC会通过的调整学习压为，自己的调整高压离心风机转速比提升出口学习压为值，以免废液逆流，容易造成软件及专用设备损伤。

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