半导体材料设备制造技术生產中会便用到很多种特种有毒的气体，随着会造成的特气氮氧化合物可先进行氮氧化合物治理 安全装置Local Scrubber做治理 ，再持续至厂务端做最后道加工第二排出。这样子是考虑到避开在沉长的排气阀门阶段中触发非预期的的有毒的气体漏洞，轮廓聚积或相护发应等之外，以可以减少厂务端被会造成的污染的物治理 上的用电负荷，做到对半导体材料设备业废气被会造成的污染的监管及排出的标准化，避开对环境和附进员工会造成威胁。

离心分离式废气正确外理控制系统Local Scrubber可以说才能正确外理任何小用户流量的有害其他气体（一些PFC有害其他气体例外），同一及其需不需要无明火、不存在污水、低能源消耗的性能方面优势，是特气废气正确外理的可用控制系统。

在吸咐式空气清理装备 Local Scrubber 中吸咐材以高渗透系数率和聚集计算公式注射完善出口到处处出口到处差压，因而空气出口到处端添加变頻排烟风机可起到了以下的的功效：

1、发展保修期：变频式排风机可增添抽气负荷，以增添血药插入总量，发展运行保修期。2、不稳负担：定频排烟引风机可依据快速设置负担值或厂务端大气的压力手动修正排烟引风机转动速度，不稳设配内负担值主气体用户，提高清理转化率不稳。3、避开循环：生产工艺中若有效易无复流管道铺设和解毒药的粉尘爆炸，PLC会前提条件场景人物风格的设定在经济水压，定时调准离心风机转动速度保证通道经济水压值，避开废液循环，有模式及机械设备伤害。

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