在TFT-LCD生产制造方法CVD沉淀步骤中适涉及到的方法特气：硅烷(S1H4)，氯气(NH3)，磷烷(PH3)，笑气(N2O)，NF3等，此外操作方法过程中的另外还有高溶解度氡气和高溶解度惰性气味等大批气味。溅射步骤时要涉及到氩气，溅射成胶气味是溅射的重要原材料。应当特殊需求成胶气味不允许喝靶材發生化学物质响应，最适合自己的气味是惰性气味。蚀刻步骤中也会涉及到大批的特气，而自动化特气多是容易燃烧易爆、有毒的气味，往往对气路的特殊需求很高，工艺也特殊需求很高。杏彩体育网 信息技术专业进行超长纯特气运送设备的设定与安转。　　

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