2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0
四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)不是种晶体无气味的有害空气,残毒、点不着,但在高溶度时有全麻功效,且发挥性较高,与可燃性有害空气点燃时,会化解呈现有害物质氟化物,有需要的凶险性。在半导体行业、整合三极管等电子厂软件研发中,等阴铁离子外壁刻蚀是本身种通用的方法,是利用常见的气味三人组合形成了具有着剧烈蚀刻性的气相色谱等阴铁离子体与弹簧测力计外壁的巧妙物基体产生无机化学反馈,自动生成别词有CO,CO2,H2O等气味,所以提升蚀刻的目的意义。四氟化碳是做到刻蚀系统的本身规范气味。四氟化碳(CF4)在电离还会行成含盐酸物质的刻蚀性气相色谱等化合物体,可对各种类型充分漆层实现了刻蚀及充分物删去,在晶圆制作业、输电线路板制作业、太阳星能锂电池板制作业等的行业中被普遍应该用。电子特气系统介绍:
自动化特气平台由气路端(CF4是其他乙炔气氧气瓶气路)、GC特气柜/GR特气架、其他乙炔气调节阀配资箱VMB/VMP、耐氧化的316L EP不锈涂塑钢管道和其他乙炔气监测站報警平台等组成了。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。
综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。