2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0

四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)也是种晶块无色无味的气味,没无毒、耐燃,但在高溶液浓度时有全麻影响,且甲醛释放性较高,与可燃性气味烧燃时,会化解存在无毒氟化物,有需要的风险性。在半导体芯片、结合电路设计等手机的产品生产销售中,等正化合物面上刻蚀一个最常用的艺,是利于类型的气味团体成型有很强蚀刻性的气相色谱仪等正化合事物与事物面上的设计物基体再次发生电化学影响,提取同一表示动作的词CO,CO2,H2O等气味,于是提升蚀刻的目的意义。四氟化碳是推动刻蚀工作的一个通常气味。四氟化碳(CF4)在电离前会生成含氢佛酸组成的刻蚀性气相色谱等正离子体,都可以对各样生物碳漆层推动刻蚀及生物碳物取除,在晶圆创造、输电线路板创造、太阳穴能干电池板创造等企业中被大范围操作。
电子特气系统介绍:
电商特气程序由天燃气端(CF4是实验室混合气体瓶天燃气)、GC特气柜/GR特气架、实验室混合气体调节阀 分派箱VMB/VMP、耐腐化的316L EP不锈塑料管道和实验室混合气体监测技术提醒程序等构成的。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。

综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。