2021-01-08 14:00:18 责任编辑: 特气系统工程设计安装公司 0

四氟化碳(CF4)介绍:
四氟化碳(CF4)就是种无色透明无色无味的空气,无磷、不烧,但在高含量时极具麻药的作用,且蒸发性较高,与可燃性空气烧时,会吸附出现没害氟化物,极具肯定的的风险。在半导体技术、一体化电线等光学产品设备产生中,等阴正离子外观刻蚀就是那种常见的加工制作工艺 ,是采取典例的气味搭配组合添加存在热烈蚀刻性的气质联用等阴正离子体与产品外观的有机质物基体出现电化学发应,添加的比方说CO,CO2,H2O等气味,关键在于达标蚀刻的效果。四氟化碳是实现目标刻蚀的功能的那种传统气味。四氟化碳(CF4)在电离后期会制作业含盐酸成分表的刻蚀性气质联用等铝离子体,可能对各式各样生物碳表面上构建刻蚀及生物碳物快速清理,在晶圆制作业、的线路板制作业、太阳升起能锂电板制作业等领域中被多方面用途。
电子特气系统介绍:
光电子特气整体由气路端(CF4是气味液化气钢瓶气路)、GC特气柜/GR特气架、气味伐门计算箱VMB/VMP、耐耐腐蚀性的316L EP不锈螺旋钢管道随和味评估报警灯整体等构成的。电子特气被称为电子工业的“血液”,其纯度和清洁度直接影响着光电产品的质量、微电子元件的质量、集成度、的具体技术指标和良率,电子特气系统的作用就是保证各生产工艺的电子特气的纯度和安全稳定供应,从根本上保证了电子器件的准确性。

综上,电子四氟化碳是目前半导体行业主要的等离子体蚀刻气体之一,在硅、二氧化硅、金属硅化物以及某些金属的蚀刻,以及低温制冷、电子器件表面清洗等方面被广泛应用。而电子特气系统为它保驾护航,保证四氟化碳(CF4)的纯度和安全稳定使用。