总流量量限（N2基本准则）

5~1,500   sccm

1.5~50   slm

50~200   slm

100~400   slm

精准流量测量条件

2~100% of Full Scale

检验明确度

≤±1.0%   of Full Scale

加载时期

≤ 1   sec

直线型

≤±0.2%   of Full Scale

重演性

≤±0.2%   of Full Scale

调整阀类

Normally   Closed Solenoid

密封质材

Elastomer   (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, PTFE, etc.)

加数插口

RS-485

移动信号类型、

Analog   Mode :   0~5VDC or 4~20mA

Digital Mode : RS-485

24v电源

+15~24VDC

运用高温规模

5~50℃   (Recommended   Temperature Range : 15~35℃)

加热的时间

15   min (Accuracy Guaranteed    : 30min)