客流量量限（N2基点）

5~1,500   sccm

1.5~50   slm

50~200   slm

100~400   slm

流量的测定方法范畴

2~100% of Full Scale

测定法明确度

≤±1.0%   of Full Scale

回复耗时

≤ 1   sec

直非线性

≤±0.2%   of Full Scale

出现性

≤±0.2%   of Full Scale

操控阀形式

Normally   Closed Solenoid

抽真空才质

Elastomer   (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, PTFE, etc.)

加数数据接口

RS-485

数据信息类型、

Analog   Mode :   0~5VDC or 4~20mA

Digital Mode : RS-485

供电

+15~24VDC

利用温暖范围之内

5~50℃   (Recommended   Temperature Range : 15~35℃)

升温的时间

15   min (Accuracy Guaranteed    : 30min)