的流量量限（N2基准面）

5~1,500   sccm

1.5~50   slm

50~200   slm

100~400   slm

用户量检验使用范围

2~100% of Full Scale

校正精密度

≤±1.0%   of Full Scale

初始化失败周期

≤ 1   sec

直平滑

≤±0.2%   of Full Scale

复现性

≤±0.2%   of Full Scale

操纵阀分类

Normally   Closed Solenoid

密封胶面料

Elastomer   (Viton®, Viton-ETP®, Kalrez®, PTFE, etc.)

数码插口

RS-485

信号灯业务类型

Analog   Mode :   0~5VDC or 4~20mA

Digital Mode : RS-485

外接电源

+15~24VDC

使用的温度因素规模

5~50℃   (Recommended   Temperature Range : 15~35℃)

加温时刻

15   min (Accuracy Guaranteed    : 30min)