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CVD(化学气相沉积) 配置特气柜的好处

2020-10-28 10:45:54    责任编辑: 特气柜设计制造公司     0

在反应室里,气态反应物经化学反应生成固态物质并沉积在硅片表面的薄膜沉积技术,被称为CVD(化学气相沉积)。它有一个基本特征:CVD工艺中反应物必须以气相形式参与反应,配置特气柜的好处就体现在这上面。



其他甲烷乙炔气的传大就必须会用到气路程序,而这个含聚酰亚胺膜结构分子其他甲烷乙炔气基本上都是特种作业其他甲烷乙炔气,兼备需的危险的性,如SiNx聚酰亚胺膜,常看作结合线路在最后的钝化爱护层,提供结合线路的靠谱性,所以咧,必须应用特气程序,运行环境特气柜。



CVD配备特气柜的的好处:

1.  珍禽的有害气物在杏彩体育网 WOFIY全主动特气柜(GC)中,适用前会历经数次主动吹扫,防范被的有害气物悬浮物破坏,要确保的有害气物钢筋取样料的溶解度;


2.  杏彩体育网 WOFIY全电脑自然特气柜(GC)以PLC为要保持要素,协调一致触碰屏通过模式屏幕上显示和控制,可电脑自然更改供汽,要保持连续不断稳定性高高纯净度有害气体输送机, 保障实验操作或种植正常的通过;


3.  杏彩体育网 WOFIY全自行特气柜(GC)的移门衣柜木板材壁厚不大于2.5mm,有防污蚀涂覆,在柜门启用时,气瓶柜中部是所处-压状态下,柜中的排风系统通风换气的规律不大于300次/H,告警侦测警报器模块是应有尽有,在应紧情况下时会自行可靠断掉(当场景人物风格的设定在告警移动信号被勾起时),保障措施产生可靠和成员可靠。



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