在反应室里，气态反应物经化学反应生成固态物质并沉积在硅片表面的薄膜沉积技术，被称为CVD（化学气相沉积）。它有一个基本特征：CVD工艺中反应物必须以气相形式参与反应，配置特气柜的好处就体现在这上面。

混合汽体的传输数据就需求涉及到集中供热机软件，而这部分含胶片构成原子结构混合汽体基本都是特种车辆混合汽体，还具有需的概率性，如SiNx胶片，常做为集合线路第四的钝化爱护层，增进集合线路的安全性，这些，需求用特气机软件，设置特气柜。

CVD硬件配置特气柜的益处：

1.  特别的有毒气休在杏彩体育网 WOFIY全主动特气柜(GC)中，食用前会 多少次主动吹扫，尽量避免被的有毒气休沉渣破坏，做到的有毒气休原料料的纯净度；

2.  杏彩体育网 WOFIY全主动特气柜（GC）以PLC为调整主要，加上触碰屏实施整体信息显示和修改，可主动就能天燃气，要保持持续平稳高含量乙炔气推送，切实保障试验或制作平常实施；

3.  杏彩体育网 WOFIY全一键设备式特气柜（GC）的柜门的板材板厚不降至2.5mm，有抗灼伤蚀金属涂层，在柜门取消时，气瓶柜上部是正处在真空程序，柜上的送风排烟的帧率不降至300次/H，告警侦测告警效果完备，在应紧实际情况中会一键式安会锯断（当设置好告警无线信号被解锁时），保护工作安会和职工安会。

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